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 次世代、紫外線光源(波長:172nm)π2-CYGNI」のご案内      

 

Cygnus Photonics社は、紫外線(172nm)π2-CYGNIを開発/製造しているアメリカのメーカーです。

π2-CYGNIの発光源は、超薄型(4mm未満)の平面マイクロキャビティ放電ランプを使用

しているため、他の紫外光源に比べ優れた均一性が可能ですので、集光レンズなどの光学

系が必要ありません。

 

π2-CYGNIを採用することにより、半導体製造環境下(クリーンルーム)でない一般の研究室でも有機物(PEDOT,PMMA,PET)のフォトリソグラフィーが可能になります。

(フォトレジスト不要、マスクのみ必要)

一般的なUVアークランプは、平均出力が高く、一方エキシマUV光源は、高いフォトン

フラックス密度がありますが、π2-CYGNIは、これら二つの利点を備えており、外部冷却が不要ですので非常にコンパクトな設計になっています。

*稼働時には、ドライ窒素またはArパージが必要です。

          

   

製品の特長

・紫外線光源 波長:172nm

・有効径内の強度均一性:3%

・ランプ寿命:3万回露光

・コンパクト/ポータブル

 

アプリケーション

・高解像度フォトリソグラフィー

・フォトアブレーション

・光分解/光触媒プロセス

・オゾン生成

・キュアリング

 

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株式会社 ルミネックス

〒112-0013

東京都文京区音羽2丁目2番2号

Tel: (03) 5395-2722

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