次世代、紫外線光源（波長：172nm)π2-CYGNI」のご案内      

Cygnus Photonics社は、紫外線(172nm)π2-CYGNIを開発/製造しているアメリカのメーカーです。

π2-CYGNIの発光源は、超薄型(4mm未満）の平面マイクロキャビティ放電ランプを使用

しているため、他の紫外光源に比べ優れた均一性が可能ですので、集光レンズなどの光学

系が必要ありません。

π2-CYGNIを採用することにより、半導体製造環境下（クリーンルーム）でない一般の研究室でも有機物（PEDOT,PMMA,PET)のフォトリソグラフィーが可能になります。

（フォトレジスト不要、マスクのみ必要）

一般的なUVアークランプは、平均出力が高く、一方エキシマUV光源は、高いフォトン

フラックス密度がありますが、π2-CYGNIは、これら二つの利点を備えており、外部冷却が不要ですので非常にコンパクトな設計になっています。

＊稼働時には、ドライ窒素またはArパージが必要です。

製品の特長

・紫外線光源　波長：172nm

・有効径内の強度均一性：3%

・ランプ寿命：3万回露光

・コンパクト/ポータブル

アプリケーション

・高解像度フォトリソグラフィー

・フォトアブレーション

・光分解/光触媒プロセス

・オゾン生成

・キュアリング